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實驗現場

高精度臭氧發生器提供MBE臭氧源現場

來源:m.wenzhangw.com.cn 發布時間:2025-09-16 16:33:18 瀏覽次數:

單位名稱:某大學
實驗內容:ALD臭氧源,MBE臭氧源
臭氧機型:M1000

高精度臭氧發生器提供MBE臭氧源現場

應用背景:

某高校材料科學實驗室致力于開發高性能材料,需要在其科研級MBE設備上沉積高質量、均勻的Al?O?柵介質薄膜。該工藝對前驅體(TMA)與反應氣體(臭氧)的精確配比和穩定性要求極高,臭氧的濃度、純度及流量直接影響薄膜的致密性、生長速率和電學性能。

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解決方案:

采用北京同林M1000高精度臭氧發生器。該設備以其1-110 mg/L的寬范圍、10檔精密可調功能,完美匹配工藝摸索階段對參數精細化的需求。研究人員可精準重復任何特定濃度(如85 mg/L),確保了實驗數據的高度重復性與可比性。


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